Journal of Micro/ Nanolithography, MEMS, and MOEMS
| 短名 | J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS |
| Journal Impact | 1.49 |
| 国际分区 | OPTICS(Q3) |
| 期刊索引 | SCI Q3中科院 2 区 |
| ISSN | 1932-5134, 1932-5150 |
| h-index | 45 |
| 国内分区 | 物理与天体物理(2区)物理与天体物理工程电子与电气(3区)物理与天体物理材料科学综合(3区)物理与天体物理纳米科技(3区)物理与天体物理光学(3区) |
《Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS》（JM3）是一本发表同行评审论文的期刊，涵盖电子、微机电系统、微型光机电系统和光子工业等领域的研究成果。
| 出版信息 | 出版商: SPIE，出版周期: ，期刊类型: journal，开源期刊: 非开源 |
| 基本数据 | 创刊年份: 2007，原创研究文献占比: ，自引率:， Gold OA占比: |
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